(Fluoro Carbon Rubber) 分子内含氟之橡胶，依氟含量 ( 即单体构造 ) 而有各种类型。目前广用的六氟化系氟橡胶早由杜邦公司以 ”Viton” 商品名上市。耐高温性优于硅橡胶，有优良的耐化学性、耐大部分油及溶剂 ( 酮、酯类除外 ) 、耐候性及耐臭氧性；耐寒性则较不良，一般使用温度范围为 -20~250 ℃。特殊配方可耐低温至 -40 ℃。 优点： • 可抗热至 250 ℃ • 对于大部份油品及溶剂都具有抵抗的能力，尤其是所有的酸类、脂族烃、芳香烃及动植物油 缺点： • 不建议使用于酮类，低分子量的酯类及含硝的混合物。 • 汽车、机车、柴油发动机及燃料系统。 适用范围: • 化工厂的密封件。 全氟橡胶 FFPM (Perfluoroelastomer) 优点： • 优良的耐热特性 • 优异的抗化学特性 • 低Outgassing 特性 • 优异之抗Plasma特性 缺点： • 耐低温特性较差 • 原料价格较高 • 生产难度较高 适用范围: • 全氟系列产品广泛地运用于半导体产业及信息相关产业所运用, 运用范围包含薄膜制程中之PVC, CVD及蚀刻制程及各种高真空密封制程。 硅氟橡胶 FLS (Fluorinated Silicone Rubber) 硅氟橡胶为硅橡胶经氟化处理，其一般性能兼具有氟橡胶及硅橡胶的优点；其耐油、耐溶剂、耐燃料油及耐高低温性均佳，一般使用温度为 -50~200 ℃。 优点： • 适用于特别用途，如要求能抗含氧的化学物、含芳香氢的溶剂及含氯的溶剂的侵蚀。 缺点： • 不建议暴露于煞车油，酮类及胼的溶液中 • 太空机件上。