创新的机械设计

ZEISS XENOS新型的机械设计基于经过验证的ZEISS CenterMax,令人印象深刻。与标准桥式测量机不同：丫导轨 分布于侧壁部，分离式移动行程轴仅 横梁于丫轴方向移动，更小及恒定的移 动重量一一与移动式平台相比堪称 的势。更低及恒定的移动重量造就了 加速及高速度的统一。

所有轴均采用线性驱动

• XENOS的所有轴均采用线性驱动。其点：高速、加速快、定位度高、驱 动无剪切力影响结合超高分辨率光栅 尺技术，XENOS的线性驱动可获得高 度稳定性及低于结合超高分辨率光栅 尺技术，XENOS的线性驱动可获得高 度稳定性及低于100纳米的高定位度。例如，测针偏移量越恒定，即可获得更佳的测量度。于测量曲面时更显见另一势：测针的移动路径与预定值越吻合，即可实现越出色的确性。

• 虚拟***驱动

• 于测量曲面时更显见另一势：测针的 移动路径与预定值越吻合，即可实现越出色的确性。虚拟***驱动XENOS 于丫轴向配备双线性驱动系统，得益于蔡司新的***驱动技术可实现异 的同步控制。该技术可据X轴位置 分布驱动力作为新控制系统及算法 之结合，这是在整个测量范围内获 得异的测量度及运动稳定性的关 键因素。

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碳化硅陶瓷

XENOS于丫轴向配备双线性驱动系统，得益于蔡司新的***驱动技术可实现异的同步控制。该技术可据X轴位 置分布驱动力作为新控制系统 及算法之结合，这是在整个测量范 围内获得异的测量度及运动稳定性的关键因素。碳化硅陶瓷XENOS在 与度密切相关的机器部件上采用创新的碳化硅陶瓷材料。迄今为止，该材料从未在类似产品或度的测量机器上得到使用与常规陶瓷相比，碳化硅陶瓷的热膨胀性降低约50%,而刚性则可大提升30°%,同时减重20°%。

加强型VAST gold

XENOS采用ZEISS VAST gold测量探头。在研发过程中，蔡司在测量度和测量重复度方面对该探头进行了化 XENOS也采用了新型刚性连接。VAST gold探头可与大长度为800毫米的 测针以及大重量为500克的测针配套使用，包括非对称型测针。