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12吋晶圆BUMP烘烤系统全自动高温炉管

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  • 产品名称:12吋晶圆BUMP烘烤系统全自动高温炉管
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基本信息

详细说明

规格: ► 晶圆尺寸 : 200mm, 300mm ► 一个腔体 -> 晶圆数量 : 8”: 75 片, 12”: 50 片 ► 工作温度范围 : 150℃ ~400℃ ► 5 Axis WTR 设备: 尺寸:可定制重量(kg):2500-3500 晶圆: 尺寸:12” ,数量:12” -> 50 配置: 装/卸量:12” -> 2盒 WTR(移动范围) :X, Y, θ, Z Axis (沿X轴移动,绕Y轴移动并旋转。) 机械手臂 :可选项1个手臂2个手 工艺空间 :加热腔 滤网:高效过滤器 升降机器人 :晶舟升/降 晶圆缓存区 :侧面缓存 电离期:硅芯盒装 工艺参数: 工艺温度:150~400℃(±4℃) 温度均匀度:±3℃ 氧含量:≤20 PPM *技术细节变动之处,恕不另行通知,具体设备参数以咨询结果为准。
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合肥真萍电子科技有限公司

主营产品:洁净烘箱,无尘烤箱,HMDS,精密鼓风烤箱,隧道炉

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