可编程多轴控制器 实现纳米级控制的控制器 CK3M 应用领域 机床/冲压机 使用放电加工机、水刀切割、激光加工机、研磨机、精密冲压机等，实现高速且超高精度的加工 半导体、FPD制造/检查装置 实现了曝光装置、线性编码器、点胶机、晶片检查装置等的超精密动作 机器人 通过具备客户独有的机器人机构的装置，实现特殊的机械机构的控制 产品特点 精密机械机构示例 需要同步控制的多轴机构 由高分辨率的电机和编码器构成的超精密工作台 由多个直线电机和标尺构成的龙门架机构 客户独有的机器人机构 需要同步控制的多轴机构 由高分辨率的电机和编码器构成的