产品名:OTFC-1550DBI 型式:1500DBI

原装高配OTFC-1550光驰机(年份:2015. 11

日本电子16P双枪，23 寸光驰RF离子源

275机械泵+爱德华配套罗茨泵

HOM2R-VIS350A光学膜厚监控仪

XTC/3+6点式水晶传感器

1.产品参数:

真空室中1550 X 1800mm(H)

工件架φ1400mm工件架转速10rpm to 30rpm (可变)

光学膜厚控制HOM2- R-VIS350A

波长范围:350nm to 1100nm 光学膜厚监控仪反射式/透射式

水晶式膜厚计XTC/3+6点式水晶传感器

蒸发源电子枪2套

离子源17cmRF 离子源

机械泵:排气系统2个扩散泵Polycold(或2 个冷凝泵)

2.  性能:达到压力7.0X10-5Pa以下排气时间20分 (大气压,1.3X10- 3Pa)基板温度高:350

3.  设备尺寸:约5500mn(W) X 7200mm()X3700mm(H)  3相, 200v, 50/60Hz,

4.  电源约120KVA 水流量180 升/分以上 空气压力0. 5MPa以上

5.  重量约11000kg