台湾龙翩机1400配置表

机械泵     美国凯尼真空泵

罗茨泵     德国普发罗茨泵2000A

电子枪     日本PLASMATECH1 OKW

POLYCOLD   美国POLYCOLD

离子源     美国KRI考夫曼离子源

加热系统   上烘烤电加热丝

气体流量   三路美国布鲁克斯流量计

晶控膜厚仪 美国英福康SQM-160

全自动—键操作系统,每炉产品参数带记忆储存功能

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