台湾龙翩机1200配置表
机械泵 英国爱德华275
罗茨泵 英国爱德华2600
电子枪 日本PLASMATECH10KW
POLYCOLD 美国POLYCOLD
离子源 美国KRI考夫曼离子源
加热系统 下加热灯管加热
气体流量 三路美国布鲁克斯流量计
晶控膜厚仪 美国英福康SQM-160
全自动一键操作系统,每炉产品参数带记忆储存功能
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