变压吸附多晶硅尾气回收装置工艺原理 　　三氯氢硅尾气中富含氢气、氯硅烷、氯化氢气体。气体组份相对稳定，一旦外漏极易污染环境，同时三氯氢硅可以空气中的微量水反应水解是SiO2和盐酸，加速阀门的损坏，影响现场装置和人员的安全。我公司开发的三氯氢硅尾气回收装置，能有效分离附加值高的氢气，并利用氯硅烷低沸点特性，回收氯硅烷。