微波是频率在300兆赫到300千兆赫的电波，被加热介质物料中的水分子是极性分子。它在快速变化的高频电磁场作用下，其极性取向将随着外电场的变化而变化。造成分子的相互摩擦运动的效应，此时微波场的场能转化为介质内的热能，使物料温度升高，产生热化和膨化等一系列物化过程而达到微波烘干加热的目的。加热时间快，微波烘干效率高。从物理学和电磁学的理论知道，任何一个谐振腔内，在过模状态下，其中可能存在的谐振模式数目是与该腔体的体积成正比的，换句话说，体积越大，其中可能存在的模式数目就越多，而腔内的微波电场的分布均匀性又与模式数目成比例，这就是为什么人们总是希望去设计一个腔体体积较大的炉腔去改善炉腔内电场的均匀性。但片面追求增大体积却会使微波功率***情况下的功率密度下降，当然从能量守恒定律出发，只要在增大体积的同时，腔体四周的金属边界不增加损耗（如采用理想的或接近理想的金属材料制造），那么即使功率密度的下降也不会对加热效果产生显著的影响， 后应当指出，在工业微波炉中由于功率较大，因此通常采用三相全波整流非滤波的供电系统，这一直流电源使得磁控管的电流脉动大大降低，因此不会出现象家用微波炉中因采用半波倍压直流电源导致的微波源的多频输出现象，另一方面，工业微波炉中通常在微波源输出与炉腔之间接有环流器，这样负载变化不会对微波源产生频率和功率牵引现象。这两个因素使得工业微波炉中使用的磁控管性能较为稳定。