纯钨靶

W

4N（99.99%）

英寸

毫米

≥99%

≯50µm

0

5N（99.999%）

D（6,8,10,12）

H（0.25,0.5,0.75）

直径150～350

厚度6～25

钨钛靶

WTi10

WTi20

4N（99.99%）

≥99%

≯50µm

0

4N5（99.995%）

痕量杂质总和

≯100 ppm

≯50 ppm

≯10 ppm

杂质指标(ppm)

大值

典型值

大值

典型值

大值

典型值

放射性元素

U

—

0.2

0.1

0.05

0.0008

0.0005

Th

—

0.2

0.1

0.05

0.0008

0.0005

碱金属元素

Li

1

0.05

0.02

0.01

0.01

0.003

Na

5

1

0.5

0.2

0.1

0.05

K

5

1

0.1

0.05

0.05

0.03

Mo，Re

10

5

10

5

1

0.5

Fe，Cr

10

5

5

3

0.5

0.3

Ca，Si，Cu，Ni，Al，Zn，Sn，Mn，Co，Hg，V

2

1

0.5

0.3

0.2

0.2

P，As，Se

2

1

0.5

0.2

0.2

0.2

B，Pb，Sb，Be，Ba，Bi，Cd，Ge，Nb，Pt，Mg，Zr，Au，In，Ga，Ag

1

0.5

0.5

0.1

0.1

0.1

其它所有单个元素

1

0.5

0.5

0.1

0.1

0.1

气体分析

（≯，ppm）

O

C

N

H

S

30

20

20

20

10